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    中環高速低功耗集成電路用高端硅基材料的研發與生產

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    信息索引號 014006438/2023-06616 生成日期 2023-11-23 公開日期 2023-11-23
    文件編號 —  — 發布機構 無錫市發展和改革委員會
    效力狀況 有效 附件下載 —  —
    內容概述 項目名稱:中環高速低功耗集成電路用高端硅基材料的研發與生產 項目單位:中環領先半導體材料有限公司 建設內容及規模:購置生產設備562臺(套),其中進口設備292臺(套)

      項目名稱:中環高速低功耗集成電路用高端硅基材料的研發與生產

      項目單位:中環領先半導體材料有限公司

      建設內容及規模:購置生產設備562臺(套),其中進口設備292臺(套),包含硅片表面腐蝕設備、硅片邊緣處理設備、硅片表面減薄設備、硅片表面處理設備、硅片表面注入機、缺陷測試儀、FIB-SEM等設備。建成后年產外延硅片SOI硅片合計297.36萬片

      建設起止年限:2023-2025年

      計劃總投資:506800萬元

      2024年計劃投資:30000萬元

    來源:無錫市發展和改革委員會

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